傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発
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Bibliographic Information
- Title
- "傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発"
- Statement of Responsibility
- 早稻田嘉夫研究代表者
- Publisher
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- [早稻田嘉夫]
- Publication Year
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- 2002.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトズク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
- 平成12年度～平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))成果報告書(課題番号12555171)
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Notes
参考文献: p69-75
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794306795520
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- NII Book ID
- BB06359543
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
