超精密洗浄技術の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超精密洗浄技術の開発"
- 責任表示
- 角田光雄監修
- 出版者
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- シーエムシー
- 普及版
- 出版年月
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- 2000.9
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
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- チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
- Development of ultra precision cleaning technologies
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注記
初版の書名: 超精密洗浄技術
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794315553024
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- NII書誌ID
- BA48163176
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- ISBN
- 488231083X
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- BSH: 洗浄法
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- データソース種別
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- CiNii Books