超精密洗浄技術の開発

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書誌事項

タイトル
"超精密洗浄技術の開発"
責任表示
角田光雄監修
出版者
  • シーエムシー
  • 普及版
出版年月
  • 2000.9
書籍サイズ
21cm
タイトル別名
  • チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
  • Development of ultra precision cleaning technologies

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注記

初版の書名: 超精密洗浄技術

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794315553024
  • NII書誌ID
    BA48163176
  • ISBN
    488231083X
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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