新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

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Bibliographic Information

Title
"新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明"
Statement of Responsibility
研究代表者 畑朋延
Publisher
  • [畑朋延]
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • アタラシイ スパッタ タイセキ モード ニヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794366257664
  • NII Book ID
    BA44223990
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [金沢]
  • Data Source
    • CiNii Books
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