新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 畑朋延
- Publisher
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- [畑朋延]
- Publication Year
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- 1999.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- アタラシイ スパッタ タイセキ モード ニヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794366257664
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- NII Book ID
- BA44223990
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [金沢]
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- Data Source
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- CiNii Books
