スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価

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Bibliographic Information

Title
"スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価"
Statement of Responsibility
研究代表者 中佐啓治郎
Publisher
  • 広島大学大学院工学研究科
Publication Year
  • 2003.3
Book size
30cm
Other Title
  • スパッタ オヨビ イオン チュウニュウホウ デ サクセイ シタ マイクロマテリアル ノ ドウテキ トクセイ ヒョウカ

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Notes

課題番号: 13650090

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794423393664
  • NII Book ID
    BA65818770
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東広島
  • Data Source
    • CiNii Books
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