フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

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Bibliographic Information

Title
"フィールドガイドオプティカルリソグラフィー"
Statement of Responsibility
Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳
Publisher
  • オプトロニクス社
Publication Year
  • 2008.9
Book size
21cm
Other Title
  • フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー
  • Field guide to optical lithography
  • オプティカルリソグラフィー

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Notes

原著(Bellingham, Wash. : SPIE, c2006)の翻訳

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794467410432
  • NII Book ID
    BA87772822
  • ISBN
    9784902312331
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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