ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

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Bibliographic Information

Title
"ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開"
Statement of Responsibility
秩父重英研究代表
Publisher
  • [秩父重英]
Publication Year
  • 2007.5
Book size
30cm
Other Title
  • ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ

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Notes

研究課題番号: 16360146

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794473814400
  • NII Book ID
    BA8264703X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Data Source
    • CiNii Books
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