真空紫外光励起化学反応による半導体表面清浄化プロセスの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "真空紫外光励起化学反応による半導体表面清浄化プロセスの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 広瀬全孝
- 出版者
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- [広瀬全孝]
- 出版年月
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- 1987.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- シンクウ シガイコウ レイキ カガク ハンノウ ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン セイジョウカ プロセス ノ カイハツ
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注記
研究課題番号: 59850052
参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794582290560
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- NII書誌ID
- BB23500127
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books
