マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

CiNii Available at 2 libraries

Bibliographic Information

Title
"マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価"
Statement of Responsibility
研究代表者:辻裕一
Publisher
  • [東京電機大学]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • マイクロマシンヨウ Si ビショウ コウゾウ ノ ヒロウ トクセイ ヒョウカ

Search this Book/Journal

Related Books

See more

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794589875200
  • NII Book ID
    BA76308459
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東京]
  • Data Source
    • CiNii Books
Back to top