グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

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Bibliographic Information

Title
"グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究"
Publisher
  • [河邊隆也]
Publication Year
  • 1998.10
Book size
30cm
Other Title
  • グローモード プラズマゲン オ モチイタ ホウデン センジョウホウ ノ ケンキュウ

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Notes

研究代表者: 河邊隆也

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794627465344
  • NII Book ID
    BA43610630
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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