Microelectromechanical structures for materials research : symposium held April 15-16, 1998 , San Francisco, California, U.S.A.

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タイトル
"Microelectromechanical structures for materials research : symposium held April 15-16, 1998 , San Francisco, California, U.S.A."
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editors, Stuart Brown ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1998
書籍サイズ
24 cm

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