マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

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Bibliographic Information

Title
"マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術"
Statement of Responsibility
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
Publisher
  • シーエムシー出版
  • 普及版
Publication Year
  • 2016.3
Book size
26cm
Other Title
  • マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
  • Etching for micro/nano fabrication
  • マイクロナノデバイスのエッチング技術
  • 新材料新素材シリーズ

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Notes

2009年刊の普及版

文献: 章末, ほか

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