極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

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Bibliographic Information

Title
"極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御"
Statement of Responsibility
研究代表者 新宮原正三
Publisher
  • [新宮原正三]
Publication Year
  • 1995.3
Book size
30cm
Other Title
  • キョクビサイ キンゾク ハイセン ニオケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキサレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ

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Notes

課題番号:03555061

研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 堀池靖浩, 進藤春雄, 坂上弘之, 金子尚史

引用・参考文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794699675392
  • NII Book ID
    BB27413498
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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