Gettering and deffect engineering in the semiconductor technology : GADEST '89 : proceedings of the 3rd International Autumn Meeting held in Garzau, German Democratic Republic, October 8-13, 1989
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and deffect engineering in the semiconductor technology : GADEST '89 : proceedings of the 3rd International Autumn Meeting held in Garzau, German Democratic Republic, October 8-13, 1989"
- 責任表示
- edited by M. Kittler
- 出版者
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- Sci-Tech Publications
- 出版年月
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- 1989
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794779619840
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- NII書誌ID
- BA18733242
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- ISBN
- 3908044049
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- lh
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Vaduz
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- データソース種別
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- CiNii Books
