Sputtering by particle bombardment

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タイトル
"Sputtering by particle bombardment"
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edited by R. Behrisch ; with contributions by H.H. Andersen ... [et al.]
出版者
  • Springer-Verlag
出版年月
  • 1981-c1991
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • v. 1 : U.S.
  • v. 1 : G.W.

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注記

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