Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology V : 25-26 January 1994, Los Angeles, California

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書誌事項

タイトル
"Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology V : 25-26 January 1994, Los Angeles, California"
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Orest J. Glembocki, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
28 cm

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794868076160
  • NII書誌ID
    BA27361353
  • ISBN
    0819414360
  • LCCN
    93087142
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/93087142
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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