製造プロセス編
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "製造プロセス編"
- 責任表示
- 角南英夫著
- 出版者
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- コロナ社
- 出版年月
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- 2006.8
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- セイゾウ プロセスヘン
- VLSI technology : fabrication processes
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注記
引用・参考文献: p[177]-186
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794940166528
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- NII書誌ID
- BA81206403
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- ISBN
- 4339018872
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 分類
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- NDC9: 549.7
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- 件名
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- NDLSH: 集積回路
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- データソース種別
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- CiNii Books