電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作

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Bibliographic Information

Title
"電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作"
Other Title
  • デンキ ネンセイ リュウタイ オ エンヨウシタ チョウヘイカツ マイクロメカニカルファブリケーションシステム ノ シサク
  • 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(11555038)
Statement of Responsibility
厨川常元研究代表者
Publisher
  • [厨川常元]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794999676672
  • NII Book ID
    BB06510838
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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