超精密洗浄技術 : 実態と課題

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Bibliographic Information

Title
"超精密洗浄技術 : 実態と課題"
Publisher
  • シーエムシー
Publication Year
  • 1992.3
Book size
31cm
Other Title
  • チョウセイミツ センジョウ ギジュツ : ジッタイ ト カダイ
  • Ultra precision cleaning technologies

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Notes

監修:角田光雄

発売:ジスク

各章末:文献

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795069543168
  • NII Book ID
    BN07970929
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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