超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 清野慧
Publisher
  • 清野慧
Publication Year
  • 1987.3
Book size
26cm
Other Title
  • チョウセイミツ カコウ キカイ アンナイメン ノ ウネリ ケイジョウ ソクテイ ニ オケル コウセイドカ ト ジンソクカ ニ カンスル ケンキュウ
  • 昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号 60550080)

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Notes

研究課題番号: 60550080

研究代表者: 清野慧 (東北大学 工学部 助教授)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795100899072
  • NII Book ID
    BB12492504
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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