X-Ray lithography research : a collection of NRL contributions
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書誌事項
- タイトル
- "X-Ray lithography research : a collection of NRL contributions"
- 責任表示
- ed by Robert R. Whitlock
- 出版者
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- Naval Research Laboratory
- 出版年月
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- 1987
- 書籍サイズ
- 28 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795121824256
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- NII書誌ID
- BA13845191
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington, DC
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- データソース種別
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- CiNii Books