半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発

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Bibliographic Information

Title
"半導体イオン検出器を用いた二次電子自己回収型イオン絶対電流量計測器アレイの開発"
Statement of Responsibility
平田真史研究代表
Publisher
  • [平田真史]
Publication Year
  • 2007.3
Book size
30cm
Other Title
  • ハンドウタイ イオン ケンシュツキ オ モチイタ ニジ デンシ ジコ カイシュウガタ イオン ゼッタイ デンリュウリョウ ケイソクキ アレイ ノ カイハツ

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Notes

研究課題番号: 17540465

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795141453824
  • NII Book ID
    BA82851116
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Data Source
    • CiNii Books
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