無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析

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Bibliographic Information

Title
"無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析"
Statement of Responsibility
研究代表者畑山智亮
Publisher
  • [奈良先端科学技術大学院大学]
Publication Year
  • 2008.3
Book size
30cm
Other Title
  • ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ
  • 平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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Notes

課題番号:18560305

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795165555840
  • NII Book ID
    BA86364911
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [生駒]
  • Data Source
    • CiNii Books
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