無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "無転位シリコンカーバイド成長に向けた表面改質と高分解能非破壊解析"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者畑山智亮
- Publisher
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- [奈良先端科学技術大学院大学]
- Publication Year
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- 2008.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ムテンイ シリコン カーバイド セイチョウ ニ ムケタ ヒョウメン カイシツ ト コウブンカイノウ ヒハカイ カイセキ
- 平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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Notes
課題番号:18560305
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795165555840
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- NII Book ID
- BA86364911
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [生駒]
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- Data Source
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- CiNii Books
