シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明"
- 責任表示
- 研究代表者渡辺征夫
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 1993.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- シラン プラズチュウ シリコン ビリュウシ ノセイチョウ キコウ ノ カイメイ
- 平成4年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号:03452094)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795167163008
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- NII書誌ID
- BA52182695
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books