軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "軟X線リソグラフィー用光源および光学系の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 波岡武 [ほか著]
- 出版者
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- [出版者不明]
- 出版年月
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- 1986.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ナンXセン リソグラフィーヨウ コウゲン オヨビ コウガクケイ ノ カイハツ
- 昭和60年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書
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注記
研究課題番号:5985007
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795193643392
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- NII書誌ID
- BA8671333X
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books