Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "Siウエハ上可逆形状記憶合金薄膜の低温形状記憶熱処理の研究"
- 責任表示
- 栗林勝利研究代表者
- 出版者
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- [山口大学工学部]
- 出版年月
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- 1996.3
- 書籍サイズ
- 29cm
- タイトル別名
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- SI ウエハジョウ カギャク ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ テイオン ケイジョウ キオク ネツショリ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号:06452230
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795206784896
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- NII書誌ID
- BN14721130
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [宇部]
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- データソース種別
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- CiNii Books