Advanced lithography
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "Advanced lithography"
- 出版者
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- IOP Pub.
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 30 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795225846144
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- NII書誌ID
- BA36495747
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- ISBN
- 0854985093
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- uk
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bristol
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- 分類
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- DC19: 621.381/73
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- データソース種別
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- CiNii Books