Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing II

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing II"
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edited by R. Novak ... [et al.] ; [sponsored by] the Electrochemical Society. Electronics and Dielectric Science and Technology Divisions
出版者
  • The Electrochemical Society
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
23 cm

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注記

Includes bibliographies and index

"held at the Electrochemical Spring Meeting May 16-22, 1993, Honolulu, Hawaii"

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795263826560
  • NII書誌ID
    BA23030321
  • ISBN
    1566770653
  • LCCN
    93070066
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/93070066
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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