原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

CiNii Available at 1 libraries

Bibliographic Information

Title
"原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作"
Statement of Responsibility
大矢銀一郎研究代表者
Publisher
  • [大矢銀一郎]
Publication Year
  • 1985.3
Book size
27cm
Other Title
  • ゲンシソウ エピタキシャル ホウ ニ ヨル サンカブツ タンケッショウ ハクマク イクセイ ノ タメ ノ セイギョ ソウチ ノ シサク
  • 昭和59年度科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書 : (研究課題番号 58850073)

Search this Book/Journal

Notes

課題番号: 58850073

Related Books

See more

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795268011392
  • NII Book ID
    BB21737431
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
Back to top