圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究

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Bibliographic Information

Title
"圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究"
Statement of Responsibility
清野慧研究代表者
Publisher
  • [清野慧]
Publication Year
  • 1997.3
Book size
30cm
Other Title
  • アツリョク テンシャガタ カコウ ニヨル ジリツテキ チョウセイミツ ケイジョウ ソウセイ ノ ジツゲン ノ タメノ キソテキ ケンキュウ
  • 平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455414)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795320181248
  • NII Book ID
    BB10668891
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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