MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究"
- 責任表示
- 研究代表者塩嵜忠
- 出版者
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- [奈良先端科学技術大学院大学]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- MOCVDホウ ニヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイメンセキ セイチョウ ト メモリ ナドノ デバイス エノ ジツヨウカ ケンキュウ
- 平成9年-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書
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注記
課題番号009555099
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795393489152
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- NII書誌ID
- BA5932640X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [生駒]
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- データソース種別
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- CiNii Books
