A production-compatible microelectronic test pattern for evaluating photomask misalignment

HathiTrust 1979 Web Site CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"A production-compatible microelectronic test pattern for evaluating photomask misalignment"
責任表示
T.J. Russell, D.A. Maxwell
出版者
  • U.S. G.P.O.
出版年月
  • 1979
書籍サイズ
26 cm
巻次・年月次
  • no.400:51

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注記

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