超高純度ガスの科学
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超高純度ガスの科学"
- 責任表示
- UCS半導体基盤技術研究会編
- 出版者
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- リアライズ社
- 出版年月
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- 1993
- 書籍サイズ
- 27 cm
- シリーズ名/番号
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- 第1分冊(コンセプト編)
- 第2分冊(データ編)
- タイトル別名
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- チョウ コウジュンド ガス ノ カガク
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注記
各章末:references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795445205632
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- NII書誌ID
- BN15744856
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- ISBN
- 494765564X
- 4947655674
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books