超高純度ガスの科学

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書誌事項

タイトル
"超高純度ガスの科学"
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UCS半導体基盤技術研究会編
出版者
  • リアライズ社
出版年月
  • 1993
書籍サイズ
27 cm
シリーズ名/番号
  • 第1分冊(コンセプト編)
  • 第2分冊(データ編)
タイトル別名
  • チョウ コウジュンド ガス ノ カガク

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795445205632
  • NII書誌ID
    BN15744856
  • ISBN
    494765564X
    4947655674
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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