弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発

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Bibliographic Information

Title
"弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 森田瑞穂
Publisher
  • [森田瑞穂]
Publication Year
  • 1987.3
Book size
26cm
Other Title
  • フッソ ノ ショクバイ サヨウ ニヨル シリコン ノ テイオン ゾウソクサンカホウ ノ カイハツ
  • 昭和60・61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850061)
  • 試験研究(2) 弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発

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Notes

研究課題番号: 60850061

研究代表者: 森田瑞穂 (東北大学 工学部助手)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795484873600
  • NII Book ID
    BB12547730
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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