Characteristics of sputtered particles, technical applications

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書誌事項

タイトル
"Characteristics of sputtered particles, technical applications"
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edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
出版者
  • Springer-Verlag
出版年月
  • c1991
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • : gw
  • : us

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注記

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