炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
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Bibliographic Information
- Title
- "炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ"
- Statement of Responsibility
- 成島尚之研究代表
- Publisher
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- [成島尚之]
- Publication Year
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- 2004.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ
- 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795510388224
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- NII Book ID
- BB10013688
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
