炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

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Bibliographic Information

Title
"炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ"
Statement of Responsibility
成島尚之研究代表
Publisher
  • [成島尚之]
Publication Year
  • 2004.5
Book size
30cm
Other Title
  • タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ
  • 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795510388224
  • NII Book ID
    BB10013688
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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