書誌事項
- タイトル
- "Ion implantation : basics to device fabrication"
- 責任表示
- by Emanuele Rimini
- 出版者
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- Kluwer Academic Publishers
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Bibliography: p. [359]-378
Includes index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795546436992
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- NII書誌ID
- BA24882495
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- ISBN
- 0792395204
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- LCCN
- 94034251
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94034251
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boston
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- 分類
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- LCC: QC702.7.I55
- DC20: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Ion implantation
- LCSH: Semiconductor doping
- LCSH: Semiconductors -- Design and construction
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- データソース種別
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- CiNii Books