ウェハー上のマイクロ冷凍機

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Bibliographic Information

Title
"ウェハー上のマイクロ冷凍機"
Statement of Responsibility
研究代表者 久保田裕巳
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 2008.3
Book size
30cm
Other Title
  • ウェハージョウ ノ マイクロ レイトウキ
  • 平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 18560203

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795590742656
  • NII Book ID
    BA86350429
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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