シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者渡辺征夫
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • シラン プラズマチュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成11-12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11450037)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795593241472
  • NII Book ID
    BA53127014
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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