EUV光源の開発と応用

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書誌事項

タイトル
"EUV光源の開発と応用"
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豊田浩一, 岡崎信次監修
出版者
  • シーエムシー出版
  • 普及版
出版年月
  • 2013.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
  • Development and application of extreme ultraviolet light source

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注記

「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版

文献: 各章末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795614999552
  • NII書誌ID
    BB12085089
  • ISBN
    9784781307091
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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