よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵"
- 責任表示
- 佐藤淳一著
- 出版者
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- 秀和システム
- 出版年月
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- 2011.10
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
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- ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
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注記
文献: p271
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795620218240
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- NII書誌ID
- BB07554941
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- ISBN
- 9784798030630
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books