超LSIの完全ドライ・トータル低温製造ラインシステムの試作研究
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "超LSIの完全ドライ・トータル低温製造ラインシステムの試作研究"
- 責任表示
- 大見忠弘研究代表
- 出版者
-
- [大見忠弘]
- 出版年月
-
- 1994.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- チョウLSI ノ カンゼン ドライ・トータル テイオン セイゾウ ライン システム ノ シサク ケンキュウ
- 平成5年度科学研究費補助金(試験研究A)研究成果報告書(課題番号04505002)
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795665683072
-
- NII書誌ID
- BB12256873
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [仙台]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books