反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

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Bibliographic Information

Title
"反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価"
Statement of Responsibility
研究代表者 坪井望
Publisher
  • [坪井望]
Publication Year
  • 2006.5
Book size
30cm
Other Title
  • ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ

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Notes

課題番号: 16560270

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795736118016
  • NII Book ID
    BA7800539X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [新潟]
  • Data Source
    • CiNii Books
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