反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
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Bibliographic Information
- Title
- "反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 坪井望
- Publisher
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- [坪井望]
- Publication Year
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- 2006.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ
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Notes
課題番号: 16560270
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795736118016
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- NII Book ID
- BA7800539X
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [新潟]
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- Data Source
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- CiNii Books
