ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究"
- Statement of Responsibility
- 羽根一博研究代表者
- Publisher
-
- [羽根一博]
- Publication Year
-
- 1998.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
-
- ホログラフィック トウエイ ニヨル ヒヘイメン リソグラフィホウ ノ ケンキュウ
- 平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455059)
Search this Book/Journal
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795760835328
-
- NII Book ID
- BB03101865
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [仙台]
-
- Data Source
-
- CiNii Books