複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 池田正幸
- Publisher
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- [北海道大学工学研究科]
- Publication Year
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- 1998.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- フクゴウ レーザ ニヨル タソウ チョウハクマク マイクロ アクチュエータ ノ ケンキュウ
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Notes
研究課題番号: 07405009
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795765132288
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- NII Book ID
- BA90909583
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [札幌]
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- Data Source
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- CiNii Books