高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 南部健一研究代表者
- Publisher
-
- [南部健一]
- Publication Year
-
- 2001.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
-
- コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニオケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニカンスル ケンキュウ
- 平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305016)
Search this Book/Journal
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795766018432
-
- NII Book ID
- BB0350360X
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [仙台]
-
- Data Source
-
- CiNii Books