低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 作田忠裕
Publisher
  • [作田忠裕]
Publication Year
  • 1993
Book size
30cm
Other Title
  • テイシュウハ チョウジョウ ニ ヨル コウシュウハ ユウドウネツ プラズマ ノ コウオン ハンノウ バ ノ コウイキカ ニ カンスル ケンキュウ

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Notes

課題番号:03650226

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795799921536
  • NII Book ID
    BN09446525
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [金沢]
  • Data Source
    • CiNii Books
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