低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究

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Bibliographic Information

Title
"低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究"
Statement of Responsibility
朴康司研究代表
Publisher
  • 朴康司
Publication Year
  • 2004.10
Book size
30cm
Other Title
  • テイカソク FIB ニヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニカンスル ケンキュウ

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Notes

課題番号: 14550298

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795804975232
  • NII Book ID
    BA79868766
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Data Source
    • CiNii Books
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