Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
Bibliographic Information
- Title
- "Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者佐道泰造
- Publisher
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- [九州大学]
- Publication Year
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- 2000.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- Siケッショウチュウ ノ ショウシャ ユウキ ケッカン ノ ドウテキ キョドウ ノ カイメイ ト プロセス オウヨウ
- 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(課題番号10650013)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795835231488
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- NII Book ID
- BA46720260
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [福岡]
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- Data Source
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- CiNii Books
