極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説
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書誌事項
- タイトル
- "極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説"
- 責任表示
- 小柳光正編著
- 出版者
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- 電子ジャーナル
- 出版年月
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- 2012.8-
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ゴクウス ウェーハ ノ ショモンダイ ト ソノ シンライセイ テッテイ カイセツ
- 極薄ウェーハの諸問題とその信頼性★徹底解説
- 極薄ウェーハの諸問題とその信頼性 : 徹底解説
- 極薄ウェハの諸問題とその信頼性
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注記
参考文献: 2012:p13-14
参考文献: 2014:p14-15
2穴ファイル綴
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795844078848
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- NII書誌ID
- BB11482130
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
-
- CiNii Books
